マイクロ流体や光学用途などでニーズの多い、ガラス基板の小径孔加工。
今回は板厚150µmに対するΦ2µmの加工事例をご紹介します。

ガラスは透明性や耐薬品性、電気絶縁性といった特性を持ち、
ガラス基板としてバイオ・分析・光学・電子分野など幅広い領域で活用されています。
今回はそのガラスを加工対象とし、狙いの位置へ小径孔を形成しました。

今回はなんと！
単孔だけでなく約100孔を同一条件で連続加工した例も掲載しています。
微小孔は数が増えるほど差が出やすい一方で、
本事例では大きな品質ブレが出にくく、
再現性を意識した加工例としてご紹介できる内容になっています。
試作から複数個取りまで、条件設定のご相談も可能です。

このような微小孔は、
マイクロ流体の開口部やフィルタ用途、
光学用ピンホール、センサー基板などに活用されています。

孔径や孔数、ピッチ、配列パターンも用途に合わせて調整可能です。
試作段階のご相談からでも対応していますので、
「この厚みでこの径はできる？」といったご相談もお気軽にお寄せください。

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