技術情報
5μmサイズの異形パターニング加工
先日ご案内した1μmのライン加工を応用して
任意形状の除去加工に成功いたしました！
より微細な加工、より高品質な加工を目指して
日々開発を進めている弊社加工チーム。
今回はなんと、幅1μmという極細ラインを加工することに...
基板上のnm厚の表層膜を
5μmの超微小サイズでパターニングしています。
形状の任意制御はもちろん、
除去部と未除去部を反転させての加工も可能です。
異形状のパターニングだけでなく
設計配線パターンの描画等、
5μmの超微細ラインを活用して様々な加工が可能です。
加工のご相談はこちらからお送りください。