フェムト秒レーザを使い、窒化珪素にエンボス加工を行いました。
Φ100μm、ピッチ150μm、高さ30μmの半球状の凸形状が
60度の千鳥配列に作成されているのがご確認いただけるかと思います。

酸、アルカリに対する高い耐食性、
以前ご紹介した炭化ケイ素と比較しても高い曲げ強度、破壊靭性、耐熱衝撃性を有し、
半導体関連や機械部品等に広く活用される窒化珪素は
その特性から、難削材料としても知られています。

非接触である超短パルスレーザ加工では、難削材料であるセラミックスにおいても
工具摩耗、クラック等の問題を解決した高精度な製品を提供可能です。

3Dレーザ顕微鏡下での観察でも
ご覧の通りのなだらかな球面が描けています。

超短パルスレーザでは、これ以外の形状、素材に対する加工も
お客様のオーダーに合わせて実施することが可能です。
このほか、穴あけ、切断等の窒化珪素加工事例はこちらからご覧いただけます。

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