エンボス形状
炭化ケイ素へのエンボス加工
フェムト秒レーザを使い、炭化ケイ素にエンボス加工を行いました。
Φ100μm、ピッチ150μm、高さ30μmの半球状の凸形状が
60度の千鳥配列に作成されているのがご確認いただけるかと思います。
ダイヤモンドに次ぐ硬度を持ち、耐熱性や熱衝撃への耐性、
高温下での靭性に優れた炭化ケイ素は、
電気自動車のパワーインバータや太陽光、風力発電向けのコンバータ等
カーボンニュートラルにおいて様々な活躍が期待され、需要が高まっています。
一方で、その特性により機械加工が困難となりますが、
超短パルスレーザ加工では対象の硬度に関係なく、
製品の小型化には欠かせない微細加工を実現可能です。
3Dレーザ顕微鏡下での観察でも
ご覧の通りのなだらかな球面が描けています。
超短パルスレーザでは、これ以外の形状、素材に対する加工も
お客様のオーダーに合わせて実施することが可能です。
関連加工はこちらからご覧ください。
フェムト秒レーザを使い、アルミナにエンボス加工を行いました。
Φ100μm、ピッチ150μm、高さ30μmの半球状の凸形状が
60度の千...