技術情報
難削材への高位置精度ストレート貫通穴加工と光制御技術
機械加工では加工が困難な材質に対し
レーザを用いて多穴加工をする事例は様々あります。
弊社でも、±数μmの高い位置精度での多穴加工をご希望される依頼が増加傾向にあります。
一般的なYAGレーザの場合、
高スループットの高速穴加工は得意としていますが、位置精度に関してはまだまだ課題がある状況です。
弊社で提供している超短パルスレーザ加工においても、
レーザ発振器や光学系のスペックなど
様々な要因から±数μmの位置精度を確保した多穴加工が難しく、お客様のご希望に添えない事もありました。
そのため、当社では加工位置ズレの要因を徹底的に検証・洗い出しました。
原因を検証し、必要とされる新たなビームスタビライジングシステムや
位置保証システムを自社製のレーザ加工機に取り入れる事で、
±2μm以下の高位置精度の多穴加工技術を確立致しました。
また特殊光学系（ビームローテーター）を使用することにより、
ガルバノスキャナーでは困難だったストレート形状かつ高アスペクト比の穴加工を実現致しました。
加工仕様
材料：窒化珪素（Si3N4）
厚さ：0.125mm
穴径：30μm±2μm以内
穴ピッチ：50μm
孔数：625穴（25穴×25穴）
パターン：正方配置
穴位置精度：±2μm以下
真円度：2μm以下
その他窒化珪素への加工はこちらからご覧ください。
厚さ300μmの窒化珪素に穴径Φ35μmの孔を100穴加工いたしました。
バリのない高品質な加工を行えました。
50...
厚さ180μmの窒化珪素に穴径□230μmの孔を加工いたしました。
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