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技術情報

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石英ガラスへの微細ストレート穴加工

t=0.5mmの合成石英ガラスに
Φ0.09mm、ピッチ0.15mmのストレート貫通穴加工を行いました。
ストレート貫通穴の場合、最少径はΦ50µm程度まで小さくする事が可能です。

合成石英ガラスは、高い純度、耐熱性、光の透過性、化学的安定性、電気絶縁性など
優れた特性を多く持つ材質です。
光ファイバーや半導体、液晶製造プロセスなど様々な用途で使われています。
その反面、微細加工が非常に難しく、
機械加工では低スループット、クラックの発生、
エッチングでは多段階にわたる工程が煩雑であるなどの問題を抱えています。

レーザ加工においても透過率の高さから、高精度な加工は困難とされてきました。
当社独自のレーザ加工技術により、
真円度は高く、チッピング、クラックが発生しないストレート微細孔加工を実現しました。

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