金属材料
SUS(t=50µm)への微細多穴加工
SUS304(t=0.05)に出口径Φ0.035、ピッチ0.35の貫通孔加工を行いました。
位置精度は±0.005以下で出来ています。
従来のレーザ加工では、熱によるバリやドロス等の溶融物が発生します。
また、厚み0.5mm以下では蓄積熱による材料全体の歪みが発生します。
熱影響の少ない超短パルスレーザで加工することにより、
熱歪みを解消した微細多孔加工を可能にしました。
またバリやドロスなどの溶融物の発生がないため、洗浄工程の簡略化が可能です。
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