難削材料の微細加工

タンタル（Ta）は、被削性が著しく悪く、
一般的に機械加工では難削材料とされており、微細加工は困難とされています。
今回当社ではレーザ加工によりバリがなく、真円度の高い微細孔加工を可能としました。

材料：タンタル（Ta）箔　t=0.05mm
孔径：Φ0.05mm
加工孔径のバラツキ±0.007mm以下
ピッチ：0.344mm
位置精度：±0.005mm以下

特徴

当社のレーザ微細穴あけ技術は、以下のような特徴を有します。
・高精度の微細穴加工が可能です。
・熱影響が小さく、加工変質層領域が小さいです。
・テーパ穴あけ以外にも光学系の組合せによりストレート穴の加工が可能です。
・バリの無いシャープエッジの穴加工が可能です。

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