今回の失敗はちょっとすごいです！

エキシマレーザにて、SUSにΦ10µｍの穴あけ加工をした際の失敗です。

エキシマレーザで加工する際にはマスクが必要です。
そのマスクを作製する際にビームの縮小率の計算を間違えてしまい、
加工面でΦ1µｍのサイズになるマスクを作製してしまいました。

条件出しの際、間違いに気がついたのですが、
とりあえず実際に加工を実施してみる事に。

すると……

t=10µｍのSUS板にΦ1µｍの貫通穴が出来ました。
SEM（×35000）で観察した形状です。

（現在、エキシマレーザでの加工は停止しております）