t=0.5mmの無アルカリ硝子への各種微細加工事例のご紹介です。
無アルカリ硝子に対して以下の加工を行いました。

切断加工

ザグリ加工

ザグリ深さ：195μm

溝加工

溝幅：30μm
溝深さ：15μm