t=0.125mmのポリイミドへの各種微細加工事例のご紹介です。
ポリイミドに対して以下の加工を行いました。

切断加工

ザグリ加工

ザグリ深さ：9μm

溝加工

溝幅：30μm
溝深さ：9μm