技術情報
シリコンウェハーへのLIPSS加工
フェムト秒レーザを用い、Siウェハー表面に
nmサイズの微細な周期構造（ナノ周期構造）を加工いたしました。
半導体デバイス等に使用されるシリコンウェハー。
材料を問わずに加工可能な超短パルスレーザでは、
シリコンウェハーにも穴あけ、切断、溝加工が可能です。
今回はさらなる実験を重ね、
超短パルスならではのナノ周期構造をシリコンウェハー表面に加工いたしました！
5000倍
その他のLIPSS加工についてはこちらをご覧ください。
特殊な調整を行ったフェムト秒レーザを照射する事で、
微細な周期構造を形成する事が出来ます。
溝幅、深さ共に数百nm程のこの周期構造をナノ...