t=0.33mmのジルコニア（ZrO2）にΦ0.11mmの貫通孔加工を行いました。
孔間隔5µmと狭ピッチで出来ています。

ジルコニアは常温において機械的強度が最も高く、
耐摩耗性もアルミナより高いのが特徴です。
その機械的強度により、
機械加工では低スループット、ドリルの消耗による精度のバラツキなどの問題があり、
微細加工が非常に困難とされていました。

当社では超短パルスレーザ加工により、
ジルコニアに対し高スループットかつ、真円度が高いシャープエッジな加工を実現しました。
また、他のレーザに比べ熱影響が少ないため狭ピッチでの加工が可能です。

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