ジルコニア(ZrO2)への微細貫通穴加工事例:㈱リプス・ワークス

t=0.33mmのジルコニア(ZrO2)にØ0.11の貫通孔加工を行いました。
孔間隔5µmと狭ピッチで出来ています。 エヘン^^

ジルコニアは常温において機械的強度が最も高く、耐摩耗性もアルミナより高いのが特徴です。
その機械的強度により、機械加工では低スループット、ドリルの消耗による精度のバラツキなどの問題により微細加工が非常に困難とされていました。
今回 当社独自のレーザ加工技術により、ジルコニアに対し機械加工に比べ、高スループット、且つ 真円度が高くシャープエッジな加工を実現しました。
また 他のレーザに比べ熱影響が少ないため狭ピッチでの加工が可能です。

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