Ø1µmのレーザー穴あけ加工:(株)リプス・ワークス今月の失敗はちょっとすごいです!!
SUSにエキシマレーザでØ10µmの穴あけ加工をする予定でした。
エキシマレーザで加工する際にはマスクが必要です。
そのマスクを作製する際にビームの縮小率の計算を間違えてしまい、加工面でØ1µmのサイズになるマスクを作製してしまいました。

条件出しの際に加工オペレーターが気がついたのですが、とりあえず実際に加工を実施してみました。

すると・・・・

t=10µmのSUS板にØ1µmの貫通穴が出来ました。SEM(×35000)で観察した形状です。

*現在、エキシマレーザでの加工は停止しております。

この失敗、何かに使えませんか?

宜しくお願いいたします。

株式会社リプス・ワークス 受託加工グループ
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